静電容量型変位センサの原理を簡単に言うと？

静電容量型変位センサの原理を簡単に言うと？

静電容量型変位センサとは、プローブと計測対象との間に形成される静電容量を利用して距離を計測するセンサです。静電容量とは、絶縁された導体間にどの程度の電荷を蓄えられるかを表したもので、電気容量とも呼ばれます。 静電容量型変位センサでは、まずプローブと対象物を電気的につなげた上で互いに向い合せることで、プローブと対象物との間に静電容量を発生させます。静電容量は誘電率・プローブ測定面の面積・対象物との距離に影響を受けますが、誘電率は固定値で、測定面の面積も変わりません。対象物との距離にのみ影響を受けるので、静電容量を計測することで距離を算出することが可能です。 以上が静電容量型変位センサの原理となりますが、正確な測定結果を得るには誘電率が一定である必要があります。一般的に、プローブと対象物との間は空気で構成されていますが、空気の誘電率は湿度によって変化します。急激な湿度変化が起こるような環境下で使用すると、安定した測定結果が得られない恐れがあるので注意が必要です。

静電容量型変位センサは静電気の性質を利用した測定器

静電容量型変位センサは測定器と対象の間の空間に発生する静電気の変化を測定することで、対象の様々な変化を測定することができるものとなっています。そのため、状態の変化を正確に把握することができるばかりでなく、非常に薄いフィルム等の厚さを知ることができるのがポイントです。 静電容量型変位センサの使い方を工夫することで、様々な用途に利用することができます。回転する円盤などの回転ムラを測ろうとする場合、対象が金属板である場合にはこれが発生する渦電流などを利用する測定器も存在していますが、この場合には回転ムラがなくても渦電流の発生が均一ではないことも多いためこれが問題となります。静電容量型変位センサを利用するとその影響を受けずに正確な値を知ることができるのがポイントとなっています。 静電容量型変位センサを利用してフィルムの厚さなどを測定する場合には、2点間の違いを測ることで、その容量の差分から厚さを求めることができるため、正確な値を知ることができるのが特徴です。